近日，睿勵科學儀器(上海)有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）近日完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資、招商致遠領(lǐng)投，清控金信、河南資產(chǎn)、鼎青投資等資方跟投。

    融資資金將用于高精度光學量檢測系列產(chǎn)品的研發(fā)和市場化推廣，豐富公司的產(chǎn)品矩陣，加速擴大生產(chǎn)并加強公司的市場拓展和品牌建設(shè)等。

    睿勵科學儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學量檢測設(shè)備。

    2005年，曾任全球大量檢測設(shè)備企業(yè)研發(fā)科學家、研發(fā)經(jīng)理的呂彤欣博士，回國創(chuàng)辦了國內(nèi)一家專注于集成電路生產(chǎn)前道工藝量檢測設(shè)備開發(fā)的企業(yè)——睿勵科學儀器。公司核心團隊來自行業(yè)國際巨頭，專業(yè)技術(shù)團隊成員大都來自國際前兩名的量檢測設(shè)備企業(yè)以及國內(nèi)著名光學技術(shù)類公司，擁有多項全自主研發(fā)的專利技術(shù)。

    睿勵科學儀器總經(jīng)理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測設(shè)備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產(chǎn)品系列，為實現(xiàn)集成電路前道工藝檢測設(shè)備國產(chǎn)化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學儀器將持續(xù)聚焦在光學量檢測領(lǐng)域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發(fā)包括OVL的其他光學量檢測設(shè)備。

    金石投資表示，半導體設(shè)備是半導體產(chǎn)業(yè)的基石，中國半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展有賴于半導體設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品突破，量檢測是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。睿勵科學作為中國最早的一批量檢測設(shè)備公司，吸引了來自于國內(nèi)外的頂尖人才，堅持技術(shù)創(chuàng)新，聚焦光學技術(shù)，我們相信睿勵科學將繼續(xù)保持技術(shù)和產(chǎn)品領(lǐng)先，幫助先進制程實現(xiàn)國產(chǎn)替代的突破和發(fā)展。

    招商致遠表示，半導體量檢測設(shè)備面臨巨大的市場空間和國產(chǎn)替代機遇，也具有很高的壁壘。招商致遠看好半導體量檢測賽道，期待睿勵科學憑借優(yōu)秀的團隊和多年的技術(shù)積累和量產(chǎn)經(jīng)驗，成為該細分賽道的領(lǐng)導者。