半導體設備與材料領域仍是國產化攻堅重點。近日,昂坤視覺(北京)科技有限公司獲得了國家集成電路產業(yè)投資基金二期投資入股。大基金二期對昂坤視覺的投資,標志著其在化合物半導體檢測設備領域的重要落子。此前,昂坤視覺還獲得了中微公司、匯川技術、晶盛機電等知名產業(yè)方,金浦投資、招商致遠、海望資本、昌發(fā)展、馮源資本、清石資管等知名財務投資人的投資。此次大基金二期入局,將進一步整合上下游資源,推動國產設備生態(tài)閉環(huán)形成。
昂坤視覺(北京)科技有限公司成立于2017年,注冊資本1,163.122萬(元),由清華系技術領軍人物馬鐵中博士創(chuàng)立(他同時也是EDA企業(yè)廣立微的創(chuàng)始人)。公司致力于為化合物半導體光電和集成電路產業(yè)提供光學測量和光學檢測設備及解決方案。經過多年自主研發(fā)的技術積累,現(xiàn)已具備業(yè)界認可的光學系統(tǒng)設計、光學成像技術和機器視覺、機器學習算法研發(fā)能力。經過多年的研發(fā)和技術積累,該公司具備光學系統(tǒng)設計、機器視覺及AI深度學習算法等研發(fā)能力,獲得了國家級專精特新“小巨人”、北京市企業(yè)技術中心、ISO9001質量管理體系認證等資質
目前,昂坤視覺提供MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng)、LED照明和顯示領域檢測設備、化合物半導體襯底和外延檢測設備、集成電路檢測設備等設備。產品已在LED芯片、化合物半導體等領域實現(xiàn)批量出貨。
MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng)系列產品用于實時監(jiān)測工藝過程中晶圓的溫度,反射率和翹曲度,并提供可靠的溫度信號用于控溫,適用于各種轉速的MOCVD機臺。
LED照明和顯示領域檢測設備包括晶圓形貌檢測、晶圓襯底缺陷檢測、PSS檢測設備、GaN及GaAs外延片缺陷檢測設備,芯片外觀缺陷檢測等AOI設備,是國內LED生產企業(yè)光學測量和檢測方面的主流設備;代表型號:SPI300,E300,F(xiàn)300-PSS,F(xiàn)300-EPI-GN,F(xiàn)300-EPI-GA,F(xiàn)400系列COW/COT/COTD。
化合物半導體襯底和外延檢測設備主要有二代半導體GaAs、InP襯底及外延檢測設備,三代半導體GaN、SiC襯底及外延檢測設備,LT&LN檢測設備,玻璃光片,圖形片檢測設備。具有業(yè)界認可的自研光學系統(tǒng),對標國際知名企業(yè),性能上得到行業(yè)認可;代表型號:E200,E300,E500,E1000,E3200,E3500。
集成電路檢測設備主要集中在無圖形襯底缺陷檢測、芯片檢測、CIS芯片和有圖形片檢測領域;代表型號:F550,F(xiàn)2000,H1000,H2000,OV1000等。
昂坤視覺的檢測設備已實現(xiàn)國產替代突破,大基金二期注資將加速其集成電路缺陷檢測設備等高端產品的研發(fā)進程。在AI技術驅動下,光學檢測設備需向智能化升級。昂坤視覺通過AI算法優(yōu)化檢測流程,效率提升30%以上,精度提升20%。這種技術融合能力正是大基金看重的未來增長點。